Компания imec достигла первого успешного производства твердотельных нанопор в масштабе целых пластин с использованием литографии EUV на 300-миллиметровых пластинах. Эта инновация превращает технологию нанопор из концепции лабораторного масштаба в масштабируемую платформу для использования в сфере биосенсоров, геномики и протеомики.
Считается, что нанопоры коренным образом изменят ситуацию в сфере геномики и протеомики, но до сих пор твердотельные нанопоры никогда не производились массово из-за трудностей, связанных с вариативностью и интеграцией. Прорыв компании imec открывает путь для создания высокопроизводительных, CMOS-совместимых матриц биосенсоров, которые могут ускорить развитие персонализированной медицины, быстрой диагностики и хранения молекулярных данных.
Производство в масштабе целых пластин с использованием литографии EUV на 300-миллиметровых пластинах нанопор размером от ~10 нм с высокой однородностью по всей пластине. Процесс производства демонстрирует перспективы достижения размеров нанопор меньше 5 нм с дальнейшими усовершенствованиями методов интеграции процессов. Определение характеристик электрической и биомолекулярной транслокации показало высокое отношение сигнал/шум на уровне 6,2.
«Компания imec обладает уникальной способностью совершить этот скачок. Мы можем применить литографию EUV, традиционно использовавшуюся только для производства памяти и логических чипов, в области биомедицинских технологий. Используя нашу литографическую инфраструктуру, мы показали, что возможно масштабное производство твердотельных нанопор с точностью, необходимой для биосенсоров на молекулярном уровне», — сказал Ашеш Рэй Чаудхури (Ashesh Ray Chaudhuri), первый автор и руководитель проектов НИОКР в компании imec. — Это открывает возможность создания высокопроизводительных матриц биосенсоров для здравоохранения и других отраслей».
